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钛铝系金属间化合物薄膜的制备和摩擦性能

田明霞 , 李长生 , 张晔 , 金岚 , 孙建

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2008.05.018

应用射频磁控溅射方法沉积钛铝系金属间化合物薄膜;用X射线衍射仪(XRD)、配有能谱仪(EDS)的扫描电子显微镜(SEM)和UMT-2型摩擦试验机对薄膜的相组成、形貌和摩擦性能进行了分析.结果表明:该薄膜是由TiAl、TiAl3、Al2O3和TiO2相组成;薄膜表面晶粒均匀细小;对于不同钛、铝含量的薄...

关键词: 射频磁控溅射 , 钛铝系金属间化合物 , 薄膜 , 摩擦性能