尹执中
,
徐宁
,
庞江涛
,
刘理天
,
胡桅林
,
过增元
,
金观昌
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.001
本文对热驱动微型泵在空载和有负载(即泵送液体)情况下的性能进行了实验研究.空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓,振幅变化也将减缓.实验测定了有负载情况下泵的频率特性,对应于最大流量的频率为3Hz;实测了流量随加热功率的变化,当功率较小时,流量缓慢变化,当功率较大时,流量迅速增大.
关键词:
微型机械
,
微型泵
,
传热
,
流动
