陆雷
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肖红
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李芳芳
,
钟永强
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白彬
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刘柯钊
稀有金属材料与工程
开展了氮化铀薄膜射频制备及薄膜性能研究,通过优化氮化铀薄膜的制备工艺条件,成功在Si基片上制备了氮化铀薄膜,并利用扫描电镜、原子力显微镜、X射线电子衍射、俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱对氮化铀薄膜进行了表面形貌和结构组分分析.结果表明:利用射频磁控沉积法制备的氮化铀薄膜为比较平整和致密的U2N3和UNxOy的混合相组成,具有一定的抗氧化腐蚀性能.
关键词:
氮化铀
,
薄膜
,
磁控溅射
伏晓国
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钟永强
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汪小琳
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刘柯钊
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赖新春
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赵正平
稀有金属材料与工程
采用X射线光电子能谱(XPS)分析研究了烧结UC(包括钚的碳化物)样品的表面层结构.分析结果表明,经大气氧化的UC表层由表及里大致组成为:少量UO2+x→UO2与UC的混合物及少量自由碳→UC基体.UC的U4f7/2峰和Cls峰结合能分别为378.2 eV和282 eV.定量分析表明,UC清洁表面的C/U原子比约为1:1,这与UC的化学组成一致,但此时仍能探测到少量固溶氧存在.初步探讨了UC在大气环境中的氧化机理.
关键词:
UC
,
表层
,
XPS