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掺氮铌酸锂薄膜的制备及基本物性研究

崔娇 , 钟海涛 , 李文灿 , 孔勇发 , 刘士国 , 陈绍林 , 张玲 , Romano Rupp , 许京军

人工晶体学报

采用激光脉冲沉积与射频等离子体相结合的方法(PLD-RF),在蓝宝石衬底上一步沉积了掺氮铌酸锂(LiNbO3:N)薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)和紫外-可见-红外光谱仪(UV-Vis-NIR)对LiNbO3:N的晶格结构、掺杂含量及价态、光学性质进行了研究.结果表明铌...

关键词: 铌酸锂 , 氮掺杂 , PLD-RF