钟焕周
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刘远
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宋晓英
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谢致薇
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杨元政
人工晶体学报
采用柠檬酸络合的无机盐溶胶-凝胶法,结合自蔓延燃烧制备出铜铁矿结构的CuAlO2粉末.用DSC -TGA、X射线衍射仪、扫描电子显微镜等分析方法对CuAlO2的形成过程、物相结构、微观形貌等进行了研究.结果表明:形成CuAlO2相的温度在1092℃左右,在1100℃烧结2h可以得到铜铁矿结构CuAlO2纳米粉末,其粒径分布在50～200 nm之间.制备的样品为p型半导体,CuAlO2片的电阻率为45.5 Ω·cm；光学带隙增大,其值约为3.75 eV.
关键词:
CuAlO2
,
溶胶-凝胶法
,
p型导电
,
光学带隙
王粤
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谢致薇
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杨元政
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周林
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钟焕周
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吴金明
材料导报
室温下采用直流磁控溅射法在玻璃基片上沉积CoTaZr薄膜.利用EDS、SEM、XRD等方法研究溅射气压、功率对CoTaZr薄膜成分、生长形貌和组织结构的影响.结果表明,溅射功率为96W时,沉积制备的薄膜成分随Ar气压变化不大,薄膜成分基本稳定.在溅射气压为2Pa、功率为96W时,成功制备出具有非晶+纳米晶结构的CoTaZr薄膜.在2Pa时,随着功率的增大,薄膜由1区、T区向3区转变;在96W时,随着气压的增大,薄膜由3区向T区或1区转变.
关键词:
CoTaZr薄膜
,
磁控溅射
,
非晶纳米晶薄膜
