辜敏
,
钟琴
材料保护
3-巯基-1-丙烷磺酸钠(MPS)、聚乙二醇(PEG)、Cl-(MPS-PEG-Cl)添加剂组合硫酸盐镀液常用于超大集成电路铜的超等角填充.采用极化曲线和电化学交流阻抗谱(EIS)研究了酸性硫酸铜镀液中MPS与PEG和Cl-于一定浓度组合下对Cu电沉积的影响.极化曲线和EIS结果一致表明,MPS与PEG和Cl-之间都存在协同作用,MPS-PEG阻化而MPS-Cl和MPS-PEG-Cl促进Cu的电沉积;低电位下,MPS和Cl-,Cu+/Cu2+形成的中间产物吸附于电极表面;MPS阻化Cu的电沉积,但与Cl-一起有协同作用,在超等角填充中起促进作用,大于阻化作用,这种促进作用源于MPS和Cl-的配位反应.
关键词:
MPS
,
PEG
,
Cl-
,
铜填充
,
电沉积
赵丽娟
,
钟琴
,
庄红军
,
孙志刚
高分子材料科学与工程
将超声波检测系统和狭缝流变仪操作系统相结合,采用超声波在线检测了聚丙烯(PP)和聚苯乙烯(PS)在挤出过程中的流变性能.研究发现,超声波速度能有效表征聚合物熔体的剪切变稀行为和聚合物分子链的应力松弛行为;且在一定的加工条件下,超声波速度与聚合物黏度间存在幂指数关系,其中指前因子和幂指数随着加工温度的升高而降低.文中将Maxwell模型思想引入到超声波中,用以表征聚合物材料松弛行为,结果发现,广义的Maxwell方程模拟结果与实验结果可以很好地吻合.这一思路可以用于考察聚合物材料在挤出过程中的粘弹性为,并能指导实际加工生产.
关键词:
超声波
,
在线检测
,
流变性能
,
Maxwell方程
