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纳米硅薄膜及其太阳电池研究进展

钟立志 , 张维佳 , 吴小文 , 何宇亮

功能材料

纳米硅薄膜具有新颖的结构特征和一系列独特的物理性质,可望应用于新型光电子器件、量子功能器件、集成电路等领域.本文综述了纳米硅薄膜的研究现状及其优良的光电性能和纳米硅薄膜太阳电池的研究进展,指出在生产制备与性能方面纳米硅薄膜太阳电池所具有的优势,具有良好的发展前景.

关键词: 纳米硅薄膜 , 太阳电池 , 光电性能 , 进展

纳米ITO粉末制备工艺优化设计

张维佳 , 王天民 , 吴小文 , 钟立志 , 崔敏

稀有金属材料与工程

研究采用均相共沉淀法制备纳米ITO(Indium Tin Oxide)粉末的制备工艺参数,从碱式溶度积平衡和酸式溶度积平衡,根据热力学平衡理论并引入化学反应热容参数分别计算了ITO前驱物In(OH)3和Sn(OH)4开始沉淀和沉淀完全的pH值以及其开始溶解和溶解完全的pH值,给出了这些pH值随沉淀温...

关键词: 纳米粉末 , ITO , 优化工艺参数设计

Ge1-xCx薄膜的制备及红外特性的研究

吴小文 , 张维佳 , 钟立志 , 黄浩

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2005.01.013

利用等离子体化学气相沉积(PECVD)法制备出Ge1-xCx薄膜,并系统地研究了工艺参数对薄膜成分的影响,以及不同组分Ge1-xCx薄膜的红外光学特性.结果表明,薄膜中的C含量随着CH4/GeH4气体流量比的增大而增大;薄膜的红外折射率随组分的不同在2~4范围内变化;薄膜的沉积速率随射频功率增大而增...

关键词: Ge1-xCx薄膜 , PECVD , 红外特性 , 沉积速率

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