王向阳
,
钱(纁)
,
蔡以超
,
何莉
,
肖红涛
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.028
本文详细分析了用单质硫或单质硒为原料,在Zn-S-H2-Ar体系或Zn-Se-H2-Ar体系中化学气相沉积生长 ZnS和ZnSe晶体所发生的化学反应,认为在这两种化学气相沉积过程中所发生的化学反应是以锌蒸汽与硫或硒蒸汽反应来实现的.计算出了上述反应的△H、△S和△G这些热力学函数,并将该△G与采用H...
关键词:
CVD
,
ZnS
,
ZnSe
,
化学反应
