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放电气体对ECR-PECVD法制备微晶硅薄膜的影响

程华 , 钱永产 , 薛军 , 吴爱民 , 石南林

材料研究学报

用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)法制备微晶硅薄膜,研究了放电气体对薄膜沉积速率、薄膜中H含量、择优取向和结晶度的影响.结果表明,以Ar作为放电气体时薄膜沉积速率比以H2作为放电气体时高1.5-2倍,但是薄膜的结晶度较低；以Ar作为放电气体时薄膜的H含量比以H2作为放电气体...

关键词: 材料合成与加工工艺 , 微晶硅薄膜 , ECR-PECVD , 放电气体