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扫描热显微镜测量机理的研究

阮修林 , 韩立 , 顾毓沁

工程热物理学报

从理论上分析了扫描热显微镜的传热过程和测量原理,建立了两种工作模式下的热阻网络模型,并对热阻网络中各热阻进行了具体分析,得出了样品本身热阻的表达式;用多种参考材料样品进行了系列实验,结果表明仪器的输出信号与热导率的倒数成线性关系,对理论分析作出了部分验证,为亚微米尺度的热导率测试打下了基础.

关键词: 扫描热显微镜 , 热阻 , 热导率