阮建锋
,
夏义本
,
王林军
,
刘健敏
,
蒋丽雯
,
崔江涛
,
苏青峰
,
史伟民
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.02.003
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜.场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.81μm和18.8nm(2μm×2μm),皆能满足高频声表面波器件用衬底的要求.实验结果表明,多层式生长方法是制备声表面波器件用金刚石衬底的理想方法.
关键词:
纳米金刚石
,
HFCVD
,
表面粗糙度
,
声表面波
刘健敏
,
夏义本
,
王林军
,
阮建锋
,
苏青峰
,
蒋丽雯
,
史伟民
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2006.04.019
使用纳米金刚石粉研磨工艺预处理硅片衬底抛光面,在低气压成核的条件下,以丙酮和氢气为反应物,采用传统的热丝辅助化学气相沉积法,制备了自支撑金刚石膜;通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜的成核面,形成氧化锌/自支撑金刚石膜结构.通过光学显微镜、扫描电镜及原子力显微镜测试自支撑金刚石膜成核面的表面形貌.研究结果表明:成核期的低气压有助于提高成核密度,成核面表面粗糙度约为1.5 nm;拉曼光谱显示1334 cm-1附近尖锐的散射峰与金刚石SP3键相对应,成核面含有少量的石墨相,且受到压应力的作用;ZnO/自支撑金刚石膜结构的XRD谱显示,氧化锌薄膜有尖锐的(002)面衍射峰,是c轴择优取向生长的.
关键词:
自支撑金刚石膜
,
表面粗糙度
,
氧化锌薄膜
,
声表面波器件
崔江涛
,
王林军
,
苏青峰
,
阮建锋
,
蒋丽雯
,
史伟民
,
夏义本
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.04.005
通过改变生长参数,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了从10μm到90nm四种晶粒尺寸的金刚石膜,并制作了三明治结构的光电导探测器.采用原子力显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌:表面粗糙度从423nm变化到15nm;晶粒越大,金刚石膜的质量越好.I-V特性测试结果表明随着晶粒尺寸的减小,金刚石膜的电阻率从1011Ω·cm减小到106Ω·cm.在5.9 keV的55Fe X射线辐照下,随着晶粒尺寸的减小,探测器的信噪比(SNR)呈减小趋势.
关键词:
金刚石膜
,
电学特性
,
晶粒尺寸
,
HFCVD
