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大面积球面金刚石膜的均匀沉积研究

相炳坤 , 左敦稳 , 李多生 , 陆海泉 , 陈荣发

人工晶体学报

利用直流电弧等离子体喷射法沉积装置在底径65 mm、高5 mm的Mo球面衬底上制备出厚度大于500 μm金刚石膜.用千分尺测量膜径向厚度以判断膜厚均匀性,用SEM观察膜的表面形貌,用拉曼谱仪测量膜的表面纯度,通过分析电镜形貌和拉曼谱峰的分布特点来判断金刚石膜的质量均匀性.结果表明,在优化工艺条件下...

关键词: 金刚石膜 , 直流电弧等离子体喷射法 , 均匀性 , SEM , 拉曼