郑萍
,
陆维
,
杜文娟
,
孟中岩
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.021
采用溶胶-凝胶法和快速热处理工艺,分别以不锈钢(SS)和镍合金(NC)为基片,成功制备了表面均匀、无裂纹的锆钛酸铅(Pb(Zn0.53Ti0.47)O3,简写为PZT)薄膜.为了缓解金属基片与PZT薄膜之间由于晶格常数和热膨胀系数不同所造成的不匹配状态,引入了镍酸镧(LaNiO3,简写为LNO)薄膜...
关键词:
PZT
,
LNO,sol-gel
,
金属基片
陆维
,
郑萍
,
孟中岩
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.013
研究了镍酸镧(分子式LaNiO3,简称LNO)导电薄膜的制备,及其与性能之间的关系.实验结果表明热处理制度和热处理过程中通氧是LNO薄膜获得良好电性能的关键.实验发现LNO薄膜在退火温度550℃时就已经晶化,并且随着退火温度的升高,薄膜电性能也随之提高,但是当温度高于860℃后,LNO薄膜发生了结构...
关键词:
LaNiO3
,
热处理
,
薄膜
,
电阻率