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Ag/Bi3.25La0.75Ti3O12/Bi4Ti3O12/Si结构铁电薄膜制备及其铁电性能的研究

郭冬云 , 王耘波 , 于军 , 付承菊 , 高俊雄 , 李建军 , 陈万军

功能材料

利用溶胶-凝胶(sol-gel)方法,在硅基底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12/Bi4Ti3O12/Si铁电薄膜,其中Bi4Ti3O12作为缓冲层.用XRD方法分析了该结构铁电薄膜的物相结构;用扫描电镜对薄膜样品进行表面形貌观察;并且对该结构的铁电性能进行了研究.

关键词: 铁电薄膜 , Bi3.25La0.75Ti3O12 , Bi4Ti3O12:sol-gel法

Experimental study of the anode injection efficiency reduction of 3.3-kV-class NPT-IGBTs due to backside processes

蒋华平 , 张波 , 刘闯 , 陈万军 , 饶祖刚 , 董彬

半导体学报（英文版） doi:10.1088/1674-4926/33/2/024003

关键词:

退火温度对Zn0.93Fe0.07O薄膜微结构和铁磁性能的影响

更藏多杰 , 马书懿 , 陈万军 , 张国恒 , 陈彦

人工晶体学报

用射频磁控溅射方法在硅片上制备了Zn0.93Fe0.07O薄膜,并在空气中用不同温度进行热处理,利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对其微结构、表面和断面形貌进行测试.结果表明,薄膜沿c轴方向择优生长,呈六角纤锌矿结构,空气中450℃退火的样品XRD谱中出现最强的(002)衍射峰,晶粒尺寸变大,薄膜结晶和取向明显变好.用振动样品强磁计对样品铁磁特性进行测试,发现当退火温度的升高时,饱和磁化强度有所增加,并经分析认为这可能是薄膜中晶粒间的晶界缺陷引起的.

关键词: 兹控溅射 , Zn0.93Fe0.07O薄膜 , 退火温度 , 铁磁性