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氧化锌纳米碟的制备及其光致发光

张建伟 , 陈三 , 朱光平 , 路洪艳

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.04.015

本文提出了一种制备ZnO纳米碟的简单方法-空气气氛条件下,在坩埚中直接蒸发Zn粉,通过控制Zn源的质量和蒸发温度,在硅(100)衬底上获得了直径为微米量级和厚度几百纳米的ZnO碟.XRD谱表明样品为纯相的纤锌矿结构ZnO,扫描电子显微镜(SEM)照片给出了样品的形貌,证明其尺寸与锌蒸发温度密切相关.室温光致发光谱中存在510nm处较强的缺陷发光峰和380nm较弱的激子发光峰.EDS谱表明样品中仅含氧和锌元素,其原子的含量比为46.3∶53.7,存在较多的氧空位,进一步证实了荧光光谱的结果.

关键词: 氧化锌 , 纳米碟 , 光致发光

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