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辉光放电辅助脉冲激光沉积CNx涂层工艺

张青 , 陈传胜 , 宋建强 , 郑晓华

电镀与涂饰

采用直流辉光放电辅助PLD(脉冲激光沉积)法制备了CNx涂层,通过正交试验研究了气压、激光通量、放电功率密度和靶基距等工艺参数对CNx涂层的氮含量、摩擦因数和磨损率的影响,利用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)和球-盘式微型摩擦仪对涂层的表面形貌、化学成分以及摩擦学特性进行了表征.结果...

关键词: 氮化碳涂层 , 脉冲激光沉积 , 辉光放电 , 氮含量 , 摩擦因数 , 磨损率