材料期刊网

AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用

陈光羽 , 何延如 , 雷志芳 , 谷士斌 , 赵冠超 , 杨荣 , 孟原 , 郭铁 , 李立伟

人工晶体学报

采用磁控溅射结合酸腐蚀法制备掺铝氧化锌透明导电氧化物薄膜,研究关键溅射工艺参数对AZO薄膜腐蚀后性能的影响.研究发现,在较低沉积温度和较大溅射压强条件下,样品腐蚀后可以形成粗糙度和雾度更大的表面形貌,有利于提高电池性能；而溅射功率增加,虽然能提升样品腐蚀后的粗糙度,但雾度的增加则呈现饱和趋势.将具有...

关键词: 掺铝氧化锌薄膜 , 磁控溅射 , 粗糙度 , 短路电流密度