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(100)面金刚石的扩散形成

邱万奇 , 刘正义 , 陈剑惠 , 周克崧 , 代明江 , 王德政

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.1999.02.005

在纯氢气气氛中对用HFCVD法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理,结果表明,微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大,形成(100)面金刚石,对低压合成金刚石过程中形成(100)面金刚石和扩散热处理中形成的(100)面金刚石的机理作了讨论.

关键词: 热丝 , 金刚石 , 微晶 , 扩散