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划痕法测定TiAlN涂层结合强度的研究

黄珂 , 杨伏良 , 陈力学 , 马凯 , 郭磊

表面技术

采用磁控溅射法在不锈钢表面制备了TiAlN涂层,采用压入法及划痕法表征了涂层的结合强度.分析表明,压入法只能作为一种定性的测定方法,该法测得TiAlN涂层的结合强度达到HF3.划痕法结合了声信号、摩擦力信号和划痕微观形貌,可以定量测定结合强度,该法测得在压头曲率半径为200μm的情况下,TiAlN涂层的临界载荷达到13 N,比传统TiN涂层提高了45％.

关键词: 磁控溅射 , TiAlN涂层 , 结合强度