张妮
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常桥稳
,
余尧
,
叶青松
,
谌喜珠
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刘伟平
,
陈加林
材料导报
HfO2薄膜是一种新兴的薄膜材料,在耐高温保护涂层、微电子、催化等领域有着非常重要的应用.HfO2薄膜优异的性能及广阔的应用前景已经引起人们极大的关注.介绍了MOCVD法制备HfO2薄膜前驱体的研究进展和现状,着重讨论了MOCVD工艺中各类前驱体的优缺点,概述了目前研究的热点和进一步研究的方向.最后得出结论:目前使用较多的β二酮类铪配合物自身存在许多不利于MOCVD工艺的缺点,因此混合配体的铪配合物成为进一步研究的焦点.
关键词:
HfO2
,
薄膜
,
前驱体
,
MOCVD
高芸
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刘百战
,
朱晓兰
,
时亮
,
陈加林
,
宫梅
,
张龙根
色谱
doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2000.03.015
用挥发油提取器提取橡苔浸膏中的挥发油,利用气相色谱-质谱法(GC-MS)分析了其中的化学成分,采用GC峰面积归一化法定量,鉴定出24种化合物,共占挥发油总量的83%以上.
关键词:
气相色谱-质谱法
,
橡苔浸膏
,
挥发油
