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邱东江 , 吴惠桢 , 陈奶波 , 田维坚
无机材料学报
在国际上第一次采用电子束反应蒸发法在Si(111)衬底上生长了MgxZn1-xO晶体薄膜.能量色散X射线(EDX)特征能谱及X射线衍射(XRD)分析表明薄膜呈立方结构,薄膜的晶面取向依赖于生长温度,在200℃温度下生长得...
关键词: 电子束反应蒸镀 , cubic MgXZn1-xO film
余萍 , 吴惠桢 , 陈奶波 , 徐天宁
材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2005.03.009
采用低温物理沉积技术在二氧化硅衬底(SiO2/Si(100))和石英玻璃上生长出了MgxZn1-xO(x＞0.5)晶体薄膜,并用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)图谱和紫外-可见光透射光谱对其进行了表征.结果表明,在SiO2/Si(100)和石英玻璃衬底上沉积的MgxZ...
关键词: 无机非金属材料 , MgxZn1-xO晶体薄膜 , 低温物理沉积 , 立方相MgxZn1-xO , 折射率
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2003.06.041
在国际上第一次采用电子束反应蒸发法在Si(111)衬底上生长了MgxZn1-xO晶体薄膜.能量色散X射线(EDX)特征能谱及X射线衍射(XRD)分析表明薄膜呈立方结构,薄膜的晶面取向依赖于生长温度,在200C温度下生长得到高度(200)取向的立方MgxZn1-xO薄膜,温度过高时得到多晶薄膜.对高度...
关键词: 电子束反应蒸镀 , 立方MgxZn1-xO薄膜
