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硅基PtSi纳米薄膜制备及应用研究进展

李美成 , 殷景华 , 蔡伟 , 赵连城 , 陈学康 , 杨建平 , 王菁

PtSi红外探测器是一种重要的光电器件,在军事和民用方面均起着非常重要的作用.高质量硅基PtSi薄膜的制备是高性能器件研制的基础.本文介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等制备PtSi薄膜的方法.并评述了PtSi红外探测器的最新应用研究进展及发展趋势.

关键词: 红外探测器 , 纳米薄膜 , 脉冲激光沉积 , 激光分子束外延

脉冲激光制备硅基超薄PtSi薄膜

李美成 , 杨建平 , 王菁 , 陈学康 , 赵连城

用脉冲激光沉积制备了纳米级Pt/Si异质层,对脉冲激光退火形成超薄PtSi薄膜进行了研究.对于Pt、Si互扩散反应形成Pt2Si和PtSi的过程利用XPS进行了测试分析,通过XPS和AFM等分析测试手段对不同参数激光退火形成的PtSi薄膜的结构特性进行观测.我们获得了均匀的、超薄连续的PtSi层且具有平滑的PtSi/Si界面.

关键词: 脉冲激光沉积(PLD) , 激光退火 , 纳米薄膜

纳米薄膜脉冲激光沉积技术

李美成 , 赵连城 , 杨建平 , 陈学康 , 吴敢

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2001.04.001

简要介绍了脉冲激光薄膜沉积(PLD)技术的物理原理、独具的特点,并且介绍了在PLD基础上结合分子束外延(MBE)特点发展起来的激光分子束外延(L-MBE),以及采用L-MBE技术制备硅基纳米PtSi薄膜的结果.

关键词: 脉冲激光沉积 , 纳米薄膜 , 激光分子束外延(L-MBE) , 红外探测器

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