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TiNxOy薄膜的制备及其光学特性

陈尔东 , 王聪

材料科学与工程学报

用直流磁控溅射技术在玻璃基底上沉积TiNxOy薄膜.应用XRD与SEM表征了TiNxOy,薄膜的晶化程度及表面形貌.在室温下300～900 nm的波长范围内测量了薄膜的透射光谱,并根据"包络法"理论,计算了薄膜的光学常数.结果表明,随着入射波长的增加,薄膜的折射率n先减小后再增加;消光系数k单调增加...

关键词: 直流磁控溅射 , TiNxOy , 薄膜 , 光学特性 , 包络法