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陈广文 , 殷景华 , 薛占林 , 桂太龙
材料研究学报
用溶胶—凝胶方法,采用电泳工艺在Al基片上制成Al2O3薄膜.膜物质主要是非晶态,但含有少量微晶.随着热处理温度的升高,进晶含量增加,这种湿敏膜在中,高湿区有良好的感湿性能.
关键词: 溶胶—凝胶法 , electrophore technique , Al_2O_3 film , null
