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利用前后处理技术改进钛/硅基板上的类金刚石场发射特性

黄柏仁 , 叶忠信 , 李世鸿 , 汪岛军 , 陈昆歧

新型炭材料

采用微波等离子体化学气相沉积系统存钛/硅基板上沉积类金刚石薄膜,并利用拉曼光谱仪、扫瞄式电子显微镜及原子力显微镜研究了氢等离子体前处理及快速退火后处理对类金刚石薄膜场发射特性之影响.在沉积类金刚石薄膜之前,钛/硅基板使用了两种前处理技术:第一种为研磨金刚石粉末,第二种为研磨金刚石粉末后外加氢等离子体...

关键词: 类金刚石 , 等离子体处理 , 快速退火 , 场发射