徐芸芸
,
张韬
,
陈晰
,
徐新
,
李争鸣
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.04.009
利用射频磁控溅射技术在玻璃基片上制备了高度C轴择优取向的纳米ZnO薄膜,采用扫描电子显微镜、电子能谱仪和X射线衍射分析仪研究了溅射过程中和热处理过程中氧气对ZnO薄膜形貌、成分以及结构的影响规律.结果表明:在溅射过程中和退火过程中通入适量的氧气,ZnO薄膜(002)衍射面的晶面间距变小,薄膜中的氧含量提高,薄膜中的缺陷减少.在空气气氛中退火2h的薄膜,质量几乎接近了在溅射过程中通入氧气所制得的样品.因此在溅射制备ZnO薄膜时,可以减少氧气用量甚至无需通入氧气,而在热处理过程中实现增氧,从而降低了制备成本,简化了薄膜的制备工艺.
关键词:
ZnO薄膜
,
XRD
,
氧气
,
退火
颜旭刚
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娄敏毅
,
王德平
,
黄文旵
,
陈晰
材料导报
锰锌铁氧体作为一种新兴的医用材料,在肿瘤热疗领域有着广阔的应用前景.综述了目前国内外锰锌铁氧体的各种制备技术,包括传统干法和化学湿法,并展望了锰锌铁氧体的医学应用前景特别是肿瘤热疗方向.
关键词:
锰锌铁氧体
,
制备工艺
,
肿瘤热疗
,
磁流体热疗
