孙心瑗
,
周灵平
,
林良武
,
李得意
,
李绍禄
,
陈本敬
功能材料
应用X射线衍射仪的薄膜附件对热丝化学气相沉积金刚石厚膜的成核面和生长面进行分析,结果表明,金刚石厚膜的晶格常数从生长面到形核面沿深度方向是逐渐变小的.化学气相沉积金刚石初期生长的晶体存在大量的空位等缺陷,晶格松弛,在金刚石膜持续生长过程中,形核面和膜内部在高温下发生长时间的自退火,缺陷浓度下降,晶格松弛现象消除,晶格常数变小并趋于理论值.试验表明,经长时间高温自退火的金刚石厚膜比薄膜具有更高的耐磨性.
关键词:
CVD金刚石膜
,
X射线衍射
,
晶格松弛
,
自退火
,
耐磨性能
孙心瑗
,
周灵平
,
李绍禄
,
李德意
,
张刚
,
陈本敬
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.04.022
在热丝化学气相沉积金刚石系统中,通过双灯丝间的热阴极放电产生等离子体,对衬底施加正负偏压形成电子促进,比较分析了它们及其组合的各种辅助方法对金刚石生长速率的影响.结果表明,在以丙酮为碳源、灯丝总功率不变的情况下,等离子体可明显增强金刚石的生长,其生长速率约为纯热丝法的三倍;而正偏压对等离子体辅助沉积金刚石不仅没有增强形核作用,而且抑制金刚石的生长;电子促进法可以显著提高金刚石的成核密度,但并不能提高金刚石生长速率.
关键词:
金刚石多晶球
,
生长速率
,
等离子体增强
,
偏压
,
热丝化学气相沉积
