陈李
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夏天东
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王晓军
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沈婕
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董生茂
金属功能材料
本文针对某厂生产的纯镍N6线材及成品铆钉表面出现的裂纹,对其进行分析.通过使用S-520型扫描电镜观察裂纹中出现的夹杂物,从其形貌及能谱的分析确定其中包含Al、Si、Ca等成分;然后使用EPMA1600型电子探针进行进一步验测,发现试样中的夹杂物含有大量的O、C、S等元素,充分说明试样中的夹杂物是以...
关键词:
纯镍N6线材
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裂纹
,
非金属夹杂物
文春明
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尤政
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温志渝
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王晓峰
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陈李
功能材料
为了增大MEMS超级电容器电极结构的表面积,提高MEMS超级电容器的电荷存储能力,研究了利用SU-8胶制备高深宽比三维电极微结构.经过基片清洗、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜等过程,制备了深宽比为6的微结构.分析讨论了微结构制备过程中基底洁净度和升降温速度及曝光、显影时间等因素对结构制备的影响....
关键词:
三维微结构
,
SU-8光刻胶
,
高深宽比
,
超级电容器
,
MEMS
