李明升
,
陈柯伟
,
王福会
,
徐家寅
腐蚀学报（英文）
doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2001.z1.012
利用IPB30/30T型空心阴极离子镀膜机并改变蒸发源料中Ti、Al的比例,在不锈钢表面沉积了不同Al含量的TiAlN薄膜;电子探针分析结果表明涂层为内层富铝,外层富TiN的梯度涂层;X-ray衍射分析表明,薄膜相结构主要为δ-TiN的B1NaCl结构,薄膜的择优取向随着镀料中Al含量的增加由(11...
关键词:
空心阴极离子镀
,
TiN薄膜
,
TiAlN薄膜
,
针孔
,
空洞
,
抗氧化性
