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Sol-gel法制备ZnO:Cd薄膜及性能研究

陈瀚 , 邓宏

材料导报

采用Sol-gel法使用旋转涂覆技术在Si(100)基片上生长了ZnO:Cd薄膜.XRD结果表明:ZnO:Cd薄膜具有与ZnO一样的六角纤锌矿结构,随热处理温度的升高,(002)衍射峰强度逐增,FWHM减小,并沿c轴择优取向生长;透射光谱实验表明:以石英为基底,适度掺镉可降低薄膜的禁带宽度Eg,特别是在800℃、8%Cd条件下,Eg=2.80eV,与纯ZnO的禁带宽度3.30eV相比,明显降低了光学禁带;光致发光谱(PL)实验表明:在吸收边附近均有较强的紫外发射峰,且随热处理温度升高呈规律的变化;电阻率测定表明:掺镉使薄膜导电性增强.

关键词: ZnO:Cd薄膜 , 光致发光 , Sol-gel法 , 旋涂

ZnO薄膜的制备及应用

陈瀚

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2011.04.020

本文简要介绍了ZnO的晶体结构和其具有的光电性能,然后介绍了薄膜的几种制备方法,并分别阐述了这些方法的优、缺点,以及ZnO薄膜、掺杂ZnO薄膜的应用.

关键词: ZnO , 光电性能 , 制备 , 应用

ZnO:Cd薄膜光学性能的研究

陈瀚 , 倪勇 , 彭军

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2011.03.009

本文以载玻片、石英为基底,采用控制掺杂方法,制备了ZnO:Cd薄膜,通过热处理方法获得了优良性能的ZnO:Cd薄膜.研究分析了镉浓度为2%-10%时ZnO薄膜的透射光谱.结果表明,有较强的紫外发射峰,但没有深能级发射,未出现其它的发射峰,说明ZnO:Cd薄膜在紫外线区的发射占主导地位,表明带间跃迁占主导地位.

关键词: ZnO:Cd薄膜 , 透射光谱 , 光学性能

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