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陈立国 , 杨治亮 , 马凌宇 , 孙立宁
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.006
引线键合是MEMS传感器最常用的封装形式之一,传统IC引线键合设备的批量制造特点限制了MEMS制造的灵活性.本文将连续变倍显微镜作为视觉传感器建立柔性显微视觉系统,并与改造后的手动引线键合机相结合,建立了面向MEMS的自动引线键合系统.通过分析变倍显微镜的成像模型提出了一种适用于变倍显微镜的自动调焦...
关键词: MEMS , 引线键合 , 显微视觉
刘亚欣 , 陈立国 , 孙立宁
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.001
近年来,用于生物,制药等领域的微量试剂自动化分配技术不断发展,往往需要进行微量快速的液体流量检测.本文设计了一种基于压差原理,通过测量液体流过精密微流量通道产生的压差实现流速快速测量的集成高速微流量传感器,并用MEMS技术进行本体结构和微流体通道的制作.通过理论计算以及传感器静态和动态建模分析,指出...
关键词: 流量传感器 , 微机械系统 , 传感器建模
