陈美容
,
曾宪光
,
孙德恩
,
黄佳木
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.021
目的 改善不锈钢摩擦性能及耐腐蚀性能.方法 通过线性阳极层离子源辅助非平衡磁控溅射法,制备了不同Zr含量的类金刚石(DLC)薄膜,采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、纳米硬度仪、高温销盘磨损仪、电化学工作站,对薄膜的化学成分、显微结构、纳米硬度、薄膜摩擦性能及耐腐蚀性能进行测试研究.结果 随着Zr靶功率...
关键词:
Zr掺杂类金刚石膜
,
显微结构
,
硬度
,
结合力
,
摩擦性能
,
腐蚀性能
