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一种MEMS结肠癌细胞捕获芯片研究

胡锐军 , 陈迪 , 陈翔 , 陈景东 , 吴澄 , 杜航向 , 杨治力 , 王志刚 , 夏骏

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.02.018

癌症是影响人类健康的重大疾病之一,如何快速、方便地分离癌细胞已经成为制约临床医学和科学研究的重要问题.本文将磁珠技术与MEMS技术相结合,提出了一种等边三角排列的Ni微磁柱结构,在磁场作用下使用CD326免疫磁珠捕获结肠癌细胞.本文对MEMS细胞捕获芯片进行了设计、加工和封装,采用该芯片对与磁珠结合的结肠癌细胞进行了捕获,0.1ml/h流速下捕获效率达92%,证明该芯片具有对结肠癌细胞的捕获能力.

关键词: 结肠癌细胞捕获 , 免疫磁珠

石墨烯增强铝基纳米复合材料研究进展

燕绍九 , 陈翔 , 洪起虎 , 王楠 , 李秀辉 , 赵双赞 , 南文争 , 杨程 , 张晓艳

航空材料学报 doi:10.11868/j.issn.1005-5053.2016.3.007

石墨烯以其优异力学、物理性能以及独特二维结构成为铝基复合材料的理想纳米增强相.金属基纳米复合材料制备技术快速发展,促进了石墨烯增强铝基纳米复合材料在结构和功能材料领域中的广泛研究.石墨烯在铝基体中的分散以及石墨烯/铝的界面控制问题具有重要科学研究和工程应用价值.重点介绍石墨烯增强铝基纳米复合材料最新研究进展,主要包括石墨烯增强铝基纳米复合材料的分散和冶金成型技术及其结构表征和力学性能研究.实验表明石墨烯能够显著提高铝基体力学性能,但作者认为通过优化工艺参数、改善微观结构和控制结合界面能够进一步优化材料性能.此外,为实现工程应用,还需加强石墨烯增强铝基复合材料的腐蚀性能和热、电性等物理性能研究,并突破材料的低成本、大规模制备技术.本文还基于石墨烯独特二维结构和表面状态,对石墨烯的增强增韧机制进行了深入讨论.

关键词: 石墨烯 , 铝基纳米复合材料 , 制备工艺 , 力学性能 , 分散工艺 , 界面结合 , 增强机制

开孔泡沫Fe-Ni的电磁屏蔽性能

黄晓莉 , 武高辉 , 张强 , 姜龙涛 , 陈翔

稀有金属材料与工程

利用专利技术制备了开孔泡沫Fe-Ni材料,并对其电磁屏蔽效能进行了研究.结果表明,在0.03~1500 MHz的频率范围内,开孔泡沫Fe-Ni的屏蔽效能在60~85 dB之间,屏蔽效能良好;而在0.03~400 MHz范围内,其屏蔽效能与铝合金板的屏蔽效能相当.开孔泡沫Fe-Ni的电磁屏蔽效能主要受泡沫结构的影响,随着开孔孔径以及泡沫体孔隙率的减小其电磁屏蔽效能增加显著.而当材料的孔径以及厚度一定时,泡沫体孔隙率的变化对电磁屏蔽效能的影响较其他因素小.

关键词: 开孔泡沫 , 电磁屏蔽 , 孔隙率 , 孔径

基于SU-8负胶的微流体器件的制作及研究

王彬 , 陈翔 , 许宝建 , 金庆辉 , 赵建龙 , 徐元森

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.03.011

采用SU-8结构释放并键合玻片制作了多层结构的微流体芯片,探讨了影响芯片气密性和沟道堵塞的因素,并通过荧光显示验证,提供了一种快速、低成本的塑性微流体器件制作方法.

关键词: 微流体器件 , 结构释放 , SU-8键合 , 塑性

集成高梯度磁场分离结构的微流控芯片快速制作法

王聿佶 , 陈翔 , 潘欣欣 , 金庆辉 , 赵建龙

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.04.004

随着MEMS技术和免疫磁珠技术的不断发展,平面电磁线圈作为控制纳米磁珠在微流体中运动的关键部件,受到广泛关注和研究.但其复杂的加工工艺,较低的磁珠捕获效率以及电磁线圈的热效应,限制了它在微流控芯片中的进一步发展和应用.本文介绍了一种高梯度磁场分离微流控芯片,通过在芯片内部集成顺磁性的微柱结构,形成高磁场来捕获磁珠.采用基于SU-8多层模具和PDMS铸模工艺的快速加工方法,在芯片内部制作出顺磁性的微柱阵列.在外磁场磁化作用下,这些微柱能产生磁珠捕获所需的高梯度磁场,有效的进行磁珠操控和分离,通过蛋白捕获实验验证了芯片的可行性.该方法加工简单快捷,也不会带来电磁线圈的热效应问题.

关键词: 高梯度磁场 , 快速加工 , 微流控芯片 , 磁珠

基于NiFeCo/Cu多层膜巨磁电阻效应的磁微球检测

牛永波 , 冯洁 , 陈翔 , 郑金平

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.06.013

分析了应用于磁性生物检测的GMR传感器的工作原理.直流磁控溅射法制备了Ni65Fe15CO20/Cu多层膜,研究了室温下多层膜的GMR效应对缓冲层(NiFeCo)厚度、间隔层(Cu)厚度及铁磁层(NiFeCo)厚度等参数的依赖关系,得到了GMR值达8.8%的多层膜样品:缓冲层(NiFeCo)5nm,间隔层(Cu)2.4nm,铁磁层(NiFeCo)1.6nm,且饱和场低、磁滞小、灵敏度较高,符合磁性生物检测技术的要求.制备了基于优化参数NiFeCo/Cu多层膜的GMR传感器,对器件的性能进行了测试,结果表明所制备的GMR传感器能够检测磁微球.

关键词: 巨磁电阻效应 , 多层膜 , NiFeCo/Cu , 磁性生物传感器

TQFP器件的分层开裂和PECVDSiNx薄膜对TQFP器件防水性能的影响

赵润涛 , 王旭洪 , 陈翔 , 徐立强

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.020

研究了薄型扁平四面封装(TQFP)器件在再流焊工艺中的分层开裂过程和PECVDSiNx薄膜对器件防水性能的影响。实验发现,水汽含量是引起器件分层开裂的主要原因;银浆与塑封料,芯片衬垫与塑封料之间的结合面是TQFP器件的薄弱环节,分层现象是由这些部位产生和扩展的。PECVDSiNx薄膜能有效降低进入TQFP器件中的水汽含量,在一定程度上消除开裂和分层现象,并且薄膜越厚,防水效果越好,消除开裂和分层现象的作用也越明显。

关键词: 分层 , 氮化硅薄膜 , TQFP器件 , 防水性能 , PECVD

基于PDMS纳米粒子改性的热模压技术

汪鹏 , 陈翔 , 肖丽君 , 朱军 , 陈迪

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.05.005

介绍了一种采用纳米SiO_2、TiO_2改性聚二甲基硅氧烷(PDMS)的方法,研究了两种纳米材料SiO_2、TiO_2添加的比例对热压效果的影响及优化条件,并分析了其改性后的热膨胀系数及杨氏模量的变化,以及其改性后热压效果的提高进行了初步分析,最后用改性的PDMS材料,快速成型来制造热压模具,热压制作聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片.与常用的金属模具(如镍模具)相比,此方法具有脱模容易,工艺周期短,难度低,重复性好,价格低等优点.

关键词: PDMS改性 , 纳米粒子 , 热模压 , 微流控

面向未来需求的细间距电化学沉积金凸点工艺

靖向萌 , 陈迪 , 黄闯 , 陈翔 , 刘景全 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.035

研究了电化学沉积金凸点的晶圆级直径和厚度分布及表面粗糙度随电镀电流密度和镀槽温度的变化.电化学沉积的金凸点在整个晶圆上的各个位置和方向上直径都增大了.当在40℃下电镀时,金凸点的直径分布与光刻胶的分布规律相似;而电镀温度为60℃时,金凸点的直径分布更倾向于对称分布.其次,当镀槽温度从40℃提高到60℃或者电镀电流密度从8 mA/cm2降低到3mA/cm2时,金凸点的厚度分布更加均匀.再次,60℃下电镀的金凸点表面粗糙度为130到160纳米并与电镀电流密度无关,但是在40℃下电镀时,表面粗糙度随着电镀电流密度的增加从82 nm急剧增加到1572 nm.

关键词: 金凸点 , 电镀 , 晶圆级封装

新型纳米磁色谱微流体芯片

潘欣欣 , 陈翔 , 陈迪 , 朱军 , 高峰

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.035

通过标准光刻电铸工艺,在玻璃基片上制备了不同形状的顺磁性镍铁微柱阵列作为微流控通道内的磁力元件;通过SU-8胶光刻模板PDMS快速成型制备了微流控通道结构,通过O2 Plasma 处理和显微镜下对准,实现在玻璃基片上的永久封装,制备了磁分离微流控芯片;在微流控通道中引入含有微磁珠的溶液,通过外加磁场和流动式进样,观察微磁珠的对磁场的响应情况以及层流中的磁珠分离情况及捕获,并进行了DNA提取实验.

关键词: 镍铁柱阵列 , 磁色谱 , 磁珠 , 微流体

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