郭雪原
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詹青燃
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金贵新
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李亚丰
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陈翔宇
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詹自力
稀有金属材料与工程
采用反相微乳液法合成出纳米氧化铟(In2O3),利用其制备出了热线型气体传感器.利用二甲基二乙氧基硅烷(DEMS)的化学气相沉积,在敏感元件表面形成了一层致密的二氧化硅(SiO2)分子筛层,限制了除氢气(H2)以外其它分子直径较大的还原性气体向气敏材料内层的扩散,提高了该传感器对H2的选择性和响应.参考元件的补偿作用降低了环境湿度的影响,通过气敏机理模型讨论了其内在原因.该传感器具有对H2较高的选择性和响应,优良的抗环境影响能力,以及较好的稳定性和较低的功耗.
关键词:
氧化铟
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热线型气体传感器
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选择性
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氢气
陈翔宇
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褚祥诚
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李龙土
稀有金属材料与工程
提出一种新型的可直线运动的压电陶瓷驱动器.驱动器选用圆环形的压电陶瓷(PZT4),其外径10 mm,内径4.5 mm,厚0.8 mm,陶瓷表面均匀分成4个扇形电极区,以"正、正、负、负"沿厚度方向极化.该驱动器定子采用棒板结合式结构,一个中轴的两端分别连接了两个对称的圆形平板,圆板与中轴相互垂直.两片陶瓷分别粘接在定子的两圆形平板外侧,对定子激振形成两圆平板的交替式跨步直线运动.驱动器整体外径12 mm,长度10.6 mm.采用有限元方法对驱动器的运动模态进行了仿真,通过谐响应分析计算了驱动器在X向和Y向的振幅,分析了驱动器的运行原理.实验结果表明:驱动器最佳工作频率在13.15 kHz左右,驱动电压100 Vo-p时驱动器的最高运行速度为34 mm/s.该驱动器在小载荷、高精度精密定位等场合具有很好的实用化前景.
关键词:
直线驱动器
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压电陶瓷
,
有限元分析
