刘爽
,
宁永功
,
陈艾
,
刘俊刚
,
杨家德
,
李昆
功能材料
用XRD、XPS、TEM分析手段研究了在P-Si(100)上溅射的Pt膜,经不同工艺形成PtSi薄膜的物相及连续性.通过分析硅衬底预处理以及退火条件、气氛等对成膜质量的影响,找到形成超薄PtSi膜的工艺方法,制备出4nm连续薄膜.
关键词:
红外探测器
,
PtSi薄膜
,
纳米级
,
退火
梁逵
,
陈艾
,
叶芝祥
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.019
分别采用碳纳米管和活性炭作为超级离子电容器的电极材料,应用交流阻抗频谱法,研究了两类超级离子电容器的频率响应特性.结果表明,用碳纳米管作电极,超级离子电容器在频率250mHz以下出现"电荷饱和";而用活性炭作电极,超级离子电容器在频率为100mHz时仍未出现"电荷饱和",说明碳纳米管超级离子电容器的频率响应特性优于活性炭超级离子电容器的频率响应特性.但是上述两类超级离子电容器的频率响应特性均比传统介质电容器的频率响应特性差.
关键词:
频率响应特性
,
碳纳米管
,
活性炭
,
超级离子电容器
,
介质电容器
