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周建坤 , 柳襄怀 , 陈酉善 , 王曦 , 郑志宏 , 黄巍 , 邹世昌
金属学报
用电子束蒸发沉积钛和40keV氮离子束轰击交替进行的办法合成了TiN薄膜。用RBS,AES,TEM,XPS,和X射线衍射研究TiN薄膜的组分和结构表明:用离子束增强沉积制备的TiN薄膜主要由TiN相构成;晶粒大小为30—40um,无择优取向;而非离子束轰击沉积的薄膜则是无定形的;用离子束增强沉积制备...
关键词: TiN薄膜 , ion beam enhanced deposition
江炳尧 , 张福民 , 孙义林 , 陈酉善 , 柳襄怀
材料研究学报
利用离子束增强沉积工艺,在硅基片上制备Si3N4/Si多层红外干涉滤波薄膜结果表明,N2+N的辅助轰击对于合成接近化学配比的Si3N4薄膜起了关键作用薄膜的折射率可达1.74～1.84实验测得的多层滤波薄膜的红外反射谱与理论值相当接近
关键词: 红外干涉滤波膜 , Ion Beam Laboratory
王曦 , 周建坤 , 陈酉善 , 柳襄怀 , 邹世昌
本文建立了一个适用于描述离子束增强沉积(Ion Beam Enhanced Deposition,即IBED)过程的Monte-Carlo计算机模拟程序。程序由离子注入计算和蒸发沉积计算两大部分组成。离子注入计算以二体碰撞近似为基础,以随机固体为靶模型,对入射离子和所有反冲原子的力学运动进行跟踪。程...
关键词: 离子束增强沉积 , TiN film , computer simulation
