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检索条件:作者=陈钢进  

  • 论文(6)

SiO2薄膜的微观结构与驻极体特性的相关性研究?

郝天亮 , 陈钢进

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.22.019

Si O 2驻极体具有优异的电荷储存能力,其具有器件制作工艺可与微机械加工技术兼容、适合集成化生产等优点,一直是微器件和传感器领域研究的热点。采用电晕充电和表面电位测试等技术研究了等离子增强化学气相沉积(PECVD)和电子束蒸发两种方法制备的SiO2薄膜的驻极体特性,发现 PECVD方法制备的Si ...

关键词: 驻极体 , SiO2 薄膜 , 微观结构 , PECVD , 电子束蒸发

用于微机电系统的SiO2/Si3N4驻极体的制备及电荷稳定性

肖慧明 , 温中泉 , 张锦文 , 陈钢进

功能材料

驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键.用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/ Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极体,探讨了器件加工工艺及存储环境对双层膜驻极体电荷稳定性的影响...

关键词: 驻极体 , 微型发电机 , SiO2/Si3N4双层膜 , 电荷稳定性 , 微器件加工

多孔PTFE/FEP复合驻极体膜的压电性研究

肖慧明 , 陈钢进 , 朱春凤 , 周安安 , 叶飞鹏

功能材料

本文报道采用高温熔融粘合工艺和电晕注极方法制备了由多孔PTFE/FEP复合而成的空间电荷驻极体压电膜.根据Kacprzyk等人提出的复合驻极体膜的压电模型,结合等温表面电位衰减和压电系数衰减测量结果,研究了制备工艺对复合膜压电活性的影响.结果表明:压电效应的大小不仅取决于捕获在材料中电荷密度的大小,...

关键词: 空间电荷驻极体 , 压电效应 , 聚合物复合膜

熔喷聚丙烯驻极体空气过滤材料对不同气溶胶的过滤性能及过滤机理研究

肖慧明 , 谢文虎 , 陈钢进

功能材料

测定了熔喷聚丙烯驻极体空气过滤材料对离子型(KCl)、极性非离子型(DEHS)两种不同实验气溶胶粒子的过滤性能,研究了粒子的粒径、荷电特性及流动速率对过滤性能的影响,分析了惯性效应、扩散效应和静电效应对粒子捕获能力的贡献.结果表明,熔喷聚丙烯驻极体空气过滤材料对不同气溶胶粒子的捕获能力差别较大,对K...

关键词: 驻极体 , 空气过滤材料 , 熔喷聚丙烯 , 实验气溶胶 , 过滤机理

空间电荷聚合物驻极体材料的压电效应

陈钢进 , 肖慧明 , 王耀翔

功能材料

自20世纪70年代空间电荷驻极体压电性概念被提出以来,开发新的聚合物压电材料一直是驻极体界研究的热点.这类材料的压电效应产生机制与传统的极性聚合物压电材料不同,是由于空间电荷在机械应力的作用下非对称性地向电极移动所致.本文从理论和实验两方面,对具有闭合型或开放型空洞结构和"软"、"硬"复合有机聚合物...

关键词: 压电效应 , 聚合物驻极体 , 空间电荷

氟化乙丙烯共聚物薄膜驻极体电荷存储性能与电晕产生模式相关性

张东林 , 陈钢进 , 赵延海

材料研究学报

采用在直流稳态、高频脉冲和交变电场作用下的电晕放电对氟化乙丙烯共聚物(FEP)薄膜材料进行注极,通过等温表面电位测量和热刺激放电技术考察了FEP驻极体的电荷存储特性,依据电晕放电等离子体鞘层模型对实验结果进行了分析,研究了电晕产生模式对FEP薄膜驻极体电荷存储性能的影响.结果表明,电晕注极FEP薄膜...

关键词: 有机高分子材料 , 驻极体 , 电晕放电 , FEP , 表面电位稳定性