张化福
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刘瑞金
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刘汉法
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陈钦生
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王新峰
,
梅玉雪
人工晶体学报
利用直流磁控溅射法在石英衬底上制备出了高透明导电的掺锆氧化锌(ZnO:Zr)薄膜.研究了衬底温度对ZnO:Zr薄膜结构、形貌及光电性能的影响.XRD表明实验中制备的ZnO:Zr为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向.实验所制备ZnO:Zr薄膜的晶化程度和导电性能对衬底温度有很强...
关键词:
掺锆氧化锌
,
衬底温度
,
直流磁控溅射
,
薄膜
张化福
,
陈钦生
,
刘汉法
人工晶体学报
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO: Zr)透明导电薄膜.并系统地研究了靶与衬底之间的距离对ZnO: Zr薄膜结构、形貌、光学及电学性能的影响.实验结果表明,靶与衬底之间的距离对ZnO: Zr薄膜的生长速率、结晶质量及电学性能有很大影响,而对其光学...
关键词:
靶与衬底之间的距离
,
ZnO:Zr
,
透明导电薄膜
,
磁控溅射