陈齐松
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王华
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许积文
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韦长成
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张玉佩
兵器材料科学与工程
以水合乙酸锌、水合乙酸锰为前驱体，利用溶胶-凝胶旋涂法在p+-Si衬底上制备Mn掺杂的ZnO阻变薄膜（MZO）。研究工艺中预热处理温度对薄膜的微观结构、阻变特性的影响，分析了薄膜高阻态和低阻态的导电机理。结果表明：经250、300℃预热处理的MZO薄膜孔洞较多，而经350℃预热处理的MZO薄膜致密，...
关键词:
Mn掺杂ZnO
,
溶胶凝胶
,
阻变特性
,
预热处理
韦长成
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王华
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许积文
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张小文
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杨玲
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陈齐松
人工晶体学报
采用溶胶-凝胶工艺在p+-Si基片上制备了La0.67Ca0.33MnO3薄膜,构建了Ag/La0.67Ca0.33MnO3/p+-Si三明治结构的阻变器件,研究了器件的电致阻变性能.结果表明:Ag/La0.67Ca0.33MnO3/P+-Si器件具有明显的双极性阻变特性,其高阻态(HRS)与低阻态...
关键词:
Ag/La0.67Ca0.33MnO3/p+-Si
,
阻变性能
,
传导机制
,
溶胶-凝胶
