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IBAD薄膜与基体界面的显微结构

陶琨 , 何向军 , 江海 , 范玉殿 , 李恒德

材料研究学报

采用中能离子束辅助沉积(IBAD)技术,在单晶Al2O3(0001)基片上沉积Mo膜,在GaAS(001)基片12合成Fe16N2薄膜用HREM等研究了Mo膜-Al2O3(0001)、Fe16N2膜-GaAs(001)界面的显微结构结果表明:Mo膜的晶粒呈细小性状或纤维状,晶粒平均尺寸约8nm,Fe16N2薄膜为等轴晶,晶粒平均尺寸约为10nm,在Mo膜-Al2O3(0001)界面及Fe16N2薄膜-GaAs(001)界面处存在厚10~15nm的由基片原子及膜层原子组成的非晶过渡层在过渡层与薄膜界面处存在台阶,增加了薄膜的形核点,薄膜的致密度较高。

关键词: 离子束辅助沉积(IBAD) , null , null

Nd0.67(Sr,Ca)0.33Mn(O,F)3磁电阻材料的结构与性能

刘耀诚 , 周和平 , 郭永权 , 陶琨

无机材料学报

通过掺CaF2制得了Nd0.67(Sr,Ca)0.33Mn(O,F)3(NSMO)磁电阻材料,并对它们作了结构分析和磁性能测量.X射线衍射结果表明,NSMO化合物保持Nd0.67Sr0.33MnO3的钙钛矿结构,空间群为Pbnm,Z=4,F-离子占据8d位置;随着CaF2掺入量的增加,晶格常数减小,居里温度降低,而磁电阻性质呈明显的递增趋势·当掺入量为20mol%时,△RR(0)的峰值达到99.7%。

关键词: 磁电阻 , Rietveld analysis , Nd0.67Sr0.33MnO3

离子束辅助沉积Fe-N薄膜的相形成

江海 , 武庆兰 , 陶琨 , 李恒德

金属学报

用离子束辅助沉积方法合成Fe-N薄膜,用离子束背散射和X射线衍射方法分析薄膜成分和结构.结果表明,薄膜的组分(α-Fe,ζ-Fe2N,ε-Fe(2-3)N,γ'-Fe4N相等)取决于沉积参数。给出了沉积温度和N/Fe原子到达比组成的相区域图.

关键词: 氮化铁 , iron nitride , magnetic film

离子束辅助沉积制备多晶Al_2O_3薄膜

王晨 , 杨杰 , 范玉殿 , 陶琨

材料研究学报

利用电子枪蒸镀Al_2O_3,同时辅以Ar 离子轰击的离子束辅助沉积方法(IBAD)制备Al_2O_3薄膜,并与单纯电子枪蒸镀方法(PVD)制备的薄膜进行了结构和表面形貌的比较。IBAD 法可以得到结构均匀致密的γ-Al_2O_3晶态薄膜,而PVD 方法仅能得到非晶态疏松的结构。分析结果表明,薄膜沉积过程中,提高离子轰击能量和增加基片加热温度在一定程度上具有相同的效果。

关键词: 离子束辅助沉积 , γ-Al_2O_3 , thin film

电镀节水与电镀废水线内循环利用技术

魏立安 , 邓意林 , 习海滨 , 陶琨

材料保护

研究处理电镀废水,使之达标回用并回收废水中的金属镍,对节能降耗和环境保护具有重要意义。将自行研发的电镀节水与电镀废水线内循环利用一体化设备应用于某电镀厂镀镍生产线,处理含镍漂洗水并回收利用水和重金属镍。结果表明,该设备能够自动稳定运行;净化系统出水电导率为3.3~12.3μS/cm,镍浓度低于5mg/L,满足漂洗水质量要求;电镀清洗水用量减少92.5%;浓缩系统使镍含量达到15g/L以上,可直接回用于镀槽。

关键词: 废水处理 , 循环利用 , 含镍电镀废水 , 节水 , 金属镍回收

分子轨道理论在分析合金相稳定性方面的应用

殷宏 , 陶琨 , 潘金生 , 李恒德

金属学报

应用分子轨道理论分析了面心立方过渡族金属三元合金的固溶度,采用特征点成分平均法计算了三元合金相图的不同等温截面的43个γ/(γ+σ),γ/(γ+μ),和γ/(γ+γ′)相界线的临界■_d值■_(dc)。得到了γ/(γ+μ)相变的■_(dc)值与温度的关系式,并对分析的准确度进行了讨论发现存在着临界平均键合级次■_(oc),它可以和■_(dc)一道用来分析合金相的稳定性。

关键词: 分子轨道理论 , alloy phase , stability

Seemann-Bohlin X射线薄膜衍射装置的强度分析

陶琨 , 董志力 , 陈顺英 , 王并举

金属学报

研制了无前单色器Seemann-Bohlin掠射聚焦装置,并对Seemann-Bohlin法的衍射强度公式进行了讨论.计算表明:1.此装置测定表面层及薄膜的衍射强度约为普通衍射仪法的7—20倍。用1kW的X射线源即可快速测得7nm金膜的2θ<120.的衍射线.2.厚样品的衍射强度也可达一般衍射仪法的3—20倍.实验证实了这个结果.

关键词:

Nd0.67(Sr,Ca)0.33Mn(O,F)3磁电阻材料的结构与性能

刘耀诚 , 郭永权 , 周和平 , 陶琨

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.03.026

通过掺CaF2制得了Nd0.67(Sr,Ca)0.33Mn(O,F)3 (NSMO)磁电阻材料,并对它们作了结构分析和磁性能测量. X射线衍射结果表明,NSMO化合物保持Nd0.67Sr0.33MnO3的钙钛矿结构,空间群为Pbnm,Z=4,F-离子占据8d位置,随着CaF2掺入量的增加,晶格常数减小,居里温度降低,而磁电阻性质呈明显的递增趋势. 当掺入量为20mol%时, ΔR/R(0)的峰值达到99.7%.

关键词: 磁电阻 , Nd0.67Sr0.33MnO3 , Rietveld方法

Pd/Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析

陶琨 , 李彬 , 骆建

金属学报

研究了X射线衍射的结构深度分布分析新方法该方法以不同的入射角入射,测量各物相的衍射谱,进而解出各确定深度处薄层的X射线衍射谱,从而可无损和定量地得到各深度处的衍射线的角度位置、强度和线型等全部结构信息此方法可得到各确定深度处的结构信息,而不是由表面到某深度处的平均结构信息;并且适用于具有择优取向的样品和吸收系数随深度而变化的样品.用此方法研究了Pd/Ag双层膜的退火过程,发现在互扩散的过程中,平行于初始界面的薄层中的结构不是微观均匀的,而是由两种具有不同点阵参数的固溶体构成的.结果证实该方法的可行性和有效性,也有利于研究Pd/Ag系统以及相关系统的扩散机理

关键词: 结构深度分布 , XRD , Pd/Ag

离子束辅助沉积合成B—N薄膜的分析

江海 , 陶琨 , 李恒德

金属学报

用离子束辅助沉积(IBAD)技术合成氮化硼薄膜,红外吸收谱和透射电镜的观测结果显示,薄膜含有c—BN和h—BN相薄膜Knoop硬度值高达35GPa。逐层剥离的AES谱结果表明,薄膜表面存在氮离子的注入效应,薄膜由注入层、成分均匀层和离子束混合过渡层组成

关键词: 离子束辅助沉积 , BN film

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