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应用于微电子机械系统中多孔硅的研究

崔梦 , 胡明 , 雷振坤 , 窦雁威 , 田斌

功能材料

针对多孔硅在MEMS中作为牺牲层和绝热层的应用,主要研究了电化学腐蚀法制备多孔硅的实验条件与多孔硅深度及其孔隙率间的关系,实验发现电化学腐蚀法制备多孔硅的腐蚀速率在腐蚀前期阶段基本是一定值(电流密度为80mA/cm2时为1.3μm/min,电流密度为40 mA/cm2时为0.4μm/min),但到腐蚀后期阶段随着孔深的增加有所下降.同时发现对于不同的腐蚀电流密度,多孔硅的孔隙率都有随腐蚀时间的延长先增加后降低的趋势,用Beale模型可以很好的解释这一现象.最后,针对多孔硅在制备后易发生龟裂的现象,用拉曼光谱分析了多孔硅的内部应力情况,结果表明随多孔硅孔隙率的上升其内部残余应力有增加的趋势.

关键词: 多孔硅 , 微电子机械系统 , 腐蚀速率 , 孔隙率 , 残余应力

多壁碳纳米管/环氧树脂聚合物热电和力学性能实验研究

雷振坤 , 潘学民 , 亢一澜 , 仇巍 , 李秋 , 彭博

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.z1.024

通过比较多壁碳纳米管在不同溶剂中的分散性,优选出(N,N-DMF)表面活性剂和甲醇的混合液,来超声分散碳纳米管,制备成碳纳米管增强的环氧树脂基聚合物.电学和摩擦性能测试表明,随碳纳米管含量的增加,复合材料的体积电阻率呈几何量级的降低,摩擦系数近线性降低.常温下力学性能测试表明,随着碳纳米管含量的增加,其弹性模量先增后降.在50℃时,对于碳纳米管含量≤1%(质量分数,下同)的复合材料,经历了可逆的粘弹性阶段后进入了塑性变形,且温度对复合材料的弹性模量和拉伸强度影响较大;而对于碳纳米管含量>1%的复合材料,其力学性能反而发生退化.

关键词: 多壁碳纳米管 , 分散 , 电阻率 , 力学行为 , 环氧树脂纳米复合材料

碳纳米管聚合物复合材料的力学性质

雷振坤 , 仇巍 , 李秋 , 亢一澜 , 潘学民

高分子材料科学与工程

用二甲基甲酰胺表面活性剂来超声分散多壁碳纳米管,制备成碳纳米管增强的环氧树脂基聚合物.常温下力学性能测试表明,随着碳纳米管含量的增加,其弹性模量先增后降.在50 ℃时,对于碳纳米管含量≤1%(质量分数)的复合材料,经历了可逆的粘弹性阶段后进入塑性变形,且温度对复合材料的弹性模量和拉伸强度影响较大;而对于碳纳米管含量>1%的复合材料,其力学性能反而发生退化.

关键词: 多壁碳纳米管/环氧树脂纳米复合材料 , 分散 , 力学性质

力、热载荷作用下纤维在复合材料中的界面应力传递行为

赵燕茹 , 邢永明 , 雷振坤 , 郎风超

复合材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-3851.2008.04.033

采用三维光弹性实验应力分析和有限元计算两种方法,在拉拔载荷和热残余应力联合作用下,对单丝拔出树脂基复合材料三维冻结切片界面剪应力进行了研究.实验结果和计算表明,在单纤维与基体界面的埋入端及埋入末端附近出现界面残余剪应力的极值;力、热载荷作用下纤维界面剪应力呈抛物线分布,单丝埋入端附近是应力的主要传递区域,最先达到危险应力,出现界面脱胶破坏,然后剪应力沿纤维埋入长度由纤维埋入端附近向埋入末端逐渐传递;界面热残余应力对界面剪应力的影响是使纤维埋入末端应力集中程度降低,使界面剪应力最大值增大.

关键词: 纤维增强复合材料 , 界面 , 应力传递 , 光弹性 , 有限元

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