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平板显示器中ITO透明电极制备的研究

姚亮 , 张永爱 , 雷晓阳 , 郭太良

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.01.004

利用光刻技术和湿法刻蚀技术制备ITO透明电极,借助视频显微仪和台阶仪观测电极形状和表面形貌.比较了不同溶液的刻蚀效果,指出采用盐酸加三氯化铁溶液刻蚀效果最佳,分别讨论了HCl含量和ReCl3含量变化对ITO膜刻蚀速率的影响.最后指出在25士2℃的环境下,刻蚀液HCl、H20和FeCl3·6H2O的配...

关键词: 平板显示器 , ITO透明电极 , 湿法刻蚀