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脉冲激光能量密度对Mo薄膜生长的影响

雷洁红 , 邢丕峰 , 唐永建 , 吴卫东 , 王锋

稀有金属材料与工程

用脉冲激光沉积(PLD)法在Si(100)基片上制备金属Mo薄膜,研究薄膜结晶性能与能量密度之间的关系,探讨薄膜生长机制和粒子能量在薄膜生长中的作用.原子力显微镜(AFM)图像显示,薄膜表面平整、光滑,均方根粗糙度小于2 nm.X射线衍射(XRD)分析表明,随着能量密度的增加,Mo薄膜衍射峰宽变窄,薄膜从非晶态逐步变为多晶态,晶粒尺寸逐步变大.

关键词: 脉冲激光沉积(PLD) , Mo薄膜 , 能量密度 , 表面粗糙度 , 晶粒尺寸

波长小于10nm的软X射线多层膜制备技术

雷洁红 , 邢丕峰 , 唐永建 , 吴卫东

材料导报

软X射线短波段区域(1~10nm)高反射率多层膜的制备对软X射线光学的研究具有十分重要的意义.该波段要求镀膜过程中能减小界面扩散,实现膜厚控制,从而严格限制了制备技术的应用.介绍了软X射线短波段多层膜的发展现状和制备技术,主要包括蒸发沉积、溅射沉积、脉冲激光沉积技术和激光分子束外延,对这些方法进行了比较并提出了今后的研究方向.

关键词: 软X射线多层膜 , 表面粗糙度 , 制备技术

氢化锂薄膜的应用研究

雷洁红 , 段浩 , 邢丕峰 , 唐永建

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.05.025

阐述了氢化锂薄膜在惯性约束聚变中的应用背景,介绍了多层膜间隔层和惯性约束聚变中靶丸燃料的研究现状及存在的问题,展望了利用脉冲激光沉积技术制备氢化锂薄膜用作多层膜间隔层和靶丸燃料的发展方向.

关键词: 氢化物锂薄膜 , 脉冲激光沉积技术(PLD) , 多层膜间隔层 , 惯性约束聚变(ICF)

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