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氮气流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响

韩东麟 , 张弓 , 庄大明 , 沙晟春 , 元金石

功能材料

采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜.以N2为载气,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了N2流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响.采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构.结果表...

关键词: 太阳能电池 , CIGS , 磁控溅射 , 薄膜 , 硒化