韩俊波
,
王念
,
于国萍
,
魏正和
,
钟家柽
,
王取泉
,
周正国
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2005.03.007
用反应射频溅射法在导电玻璃上制备TiO2薄膜,并用Ar射频等离子体对TiO2薄膜进行处理.利用XRD、XPS、UV-VIS透射光谱和AFM等测试手段研究Ar射频等离子体处理对TiO2纳米薄膜的结构、成分和光电性能的影响,用液滴形貌分析法测量水滴在TiO2薄膜表面的接触角.经过Ar射频等离子处理后,用TiO2薄膜组装的光电池的光电流提高了约80%,TiO2薄膜的亲水角由66°左右迅速减小.
关键词:
等离子体处理
,
射频溅射
,
光电转换
,
亲水性
,
TiO2纳米晶
