韩喻
,
谢凯
,
李宇杰
,
许静
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.06.016
摸索了利用PECVD方法制备嵌埋于硅槽中Si反Opal结构的工艺条件,探索性研究了射频功率、气体流量、反应室压力、沉积时间和Opal基底状态对填充效果的影响.结果显示射频功率越小,流量越低,反应室压力越大,则反应速率越低,Opal结构内外填充越均匀.同时,在[SiHm]自由基扩散通道不被堵塞的前提下...
关键词:
PECVD
,
反Opal结构
,
Si凹槽
韩喻
,
谢凯
材料导报
光子晶体是一种新概念人工结构功能材料,通过设计可以人为调控经典波的传榆.而三维光子晶体能产生全方向的完全禁带,具有更普遍的实用性.从结构、材料及应用探索3方面介绍了近几年来光学波段三维光子晶体的最新发展动向:以器件化为指导,逐步由简单媒质简单周期向复杂媒质复合周期结构方向发展,由胶体模板自组装等纯化...
关键词:
三维光子晶体
,
光子禁带
,
周期结构
,
介电常数
郑春满
,
韦永滔
,
谢凯
,
韩喻
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12505
以铜铟镓纳米金属氧化物为起始原料,采用化学还原+固体硒源后硒化的方法在不锈钢表面制备出多晶Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜.采用场发射扫描电镜、高分辨透射电镜、能谱分析和X射线衍射等方法对制备过程中材料组成和结构的演变进行了研究,采用霍尔效应测试仪和吸收光谱分析等对多晶CIGS薄膜的性能进行...
关键词:
氧化物
,
Cu(In,Ga)Se2薄膜
,
光学性能
,
反应过程
