宋淑梅
,
杨田林
,
辛艳青
,
姜丽莉
,
李延辉
,
庞志勇
,
林亮
,
韩圣浩
功能材料
采用射频磁控溅射法,室温下在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型透明导电薄膜YZO(ZnO掺杂Y2O3简称YZO).在薄膜厚度为600nm的情况下,研究了薄膜电学特性随溅射功率和溅射气压的变化情况.X射线衍射谱表明YZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为(00...
关键词:
透明导电薄膜
,
YZO
,
射频磁控溅射
,
电阻率
,
透过率
杨田林
,
张之圣
,
宋淑梅
,
辛艳青
,
姜丽莉
,
李延辉
,
韩圣浩
功能材料
采用射频磁控溅射和离子束溅射联合设备在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的GZO/Ag/GZO(ZnO掺杂Ga_2O_3简称GZO)多层薄膜.X射线衍射谱表明GZO/Ag/GZO多层薄膜是多晶膜,GZO层具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向;Ag层是立方结构,具有(...
关键词:
GZO/Ag/GZO
,
多层膜
,
溅射方法
,
透明导电膜
杨田林
,
宋淑梅
,
辛艳青
,
李延辉
,
杜桂强
,
韩圣浩
人工晶体学报
室温下采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型ZnO∶Y (ZnO掺杂Y2O3,简称ZnO∶Y)透明导电薄膜.研究了薄膜厚度对ZnO∶Y薄膜结构、光电特性的影响.结果表明:不同厚度的ZnO∶Y薄膜均为多晶薄膜,具有ZnO六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向....
关键词:
磁控溅射
,
ZnO∶Y薄膜
,
电阻率
,
透过率
杨田林
,
韩圣浩
,
张鹏
,
王爱芳
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.05.002
讨论了在低温条件下制备的ZnO:Al薄膜的结构、表面形貌和光电特性,对聚酰亚胺(Polvimide,PI)和玻璃两种不同衬底的薄膜进行了比较研究.两种不同衬底的薄膜均为多晶膜,具有六角纤锌矿结构,最佳取向均为(002)方向,衬底温度从室温到210℃时,制备的薄膜密度变化范围为4.6～5.16 g/c...
关键词:
ZnO:Al薄膜
,
光电特性
,
射频磁控溅射
