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直流等离子射流法制备金刚石薄膜

韩培刚

人工晶体学报

关键词:

脉冲偏压对(Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响

毛延发 , 唐为国 , 兰新哲 , 周廉 , 韩培刚

中国材料进展

采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N多层复合涂层.所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统.简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程.鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响,实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响.同时测...

关键词: 多弧离子镀 , (Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N , 多层复合涂层 , 维氏硬度