韩爽
,
胡海峰
,
蒋凯辉
,
杜海生
稀有金属材料与工程
使用低压化学气相沉积工艺(LPCVD),以三氯硅烷和氨气作为硅源和氮源,在烧结氮化硅表面制备氮化硅薄膜.分别考察了载气、沉积温度以及原料配比等工艺参数对沉积速率的影响,并对薄膜的组成、结构及硬度等性能进行了分析.结果表明,较好的工艺条件是,采用N2或N2+H2为载气、沉积温度为800℃,NH3/HSiCl3流量比为4,此时薄膜沉积速率可达23.4 nm/min,其主要由Si-N组成,并含有部分Si-O,硬度为28 650 MPa.
关键词:
氮化硅薄膜
,
CVD
,
沉积速率
,
化学组成
韩爽
,
蒋凯辉
,
唐军务
,
胡海峰
稀有金属材料与工程
采用溶胶-凝胶工艺制备2.5D SiO_(2f)/ SiO_2复合材料,并对工艺参数进行了优化.研究表明:以固含量为30.73 %的硅溶胶为浸渍浆料,采用微波干燥方式,烧结温度为900 ℃时制备的复合材料具有较好的性能.经过7个制备周期后,复合材料的密度为1.65 g/cm~3,此时弯曲强度最大,可达80.7 MPa;800 ℃下烧成的材料具有最大的剪切强度和断裂韧性,分别为56.6 MPa和3.5 MPa·m~(1/2).测得试样介电常数为3.4,较好的满足了天线罩材料的介电性能要求.
关键词:
2.5D SiO_(2f)/ SiO_2
,
溶胶-凝胶
,
力学性能
,
介电性能
刘建兴
,
韩爽
,
林娟
黄金
doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2004.08.013
研究讨论了目前黄金矿山企业普遍存在的生态环境建设问题;采用了先对项目逐项分析,确定主要因素,然后用层次分析法得到项目权重因子,再通过对选择项目的权重排队,并结合矿山实际条件,从而进一步对方案评价与决策的方法.这种思路与方法对黄金矿山企业进行生产项目的选择和制定决策具有一定的指导意义.
关键词:
黄金矿山
,
生态环境建设项目
,
筛选
,
层次分析法
