田招兵
,
张永刚
,
李爱珍
,
顾溢
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.04.012
采用了H3PO4/H2O2系化学腐蚀液对GSMBE外延的InGaAs/InP和InAIAs/InP材料湿法腐蚀特性进行了研究,研究了不同浓度和配比对于腐蚀速率和形貌影响.结果表明该腐蚀液体系具有良好的均匀性,腐蚀速率随浓度呈指数关系,表面形貌基本不受浓度影响.在增加腐蚀液中双氧水含量时,腐蚀速率先增大后减小,表面形貌良好;增加磷酸浓度腐蚀速率亦有增大趋势,表面出现尖锥状小丘.并对腐蚀液配比变化对腐蚀特性影响及腐蚀机理进行了讨论分析.
关键词:
InGaAs/InAlAs
,
湿法腐蚀
,
异质结
郝国强
,
张永刚
,
顾溢
,
刘天东
,
李爱珍
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.014
从理论和实验上分析了双异质结In0.53Ga0.47As PIN光电探测器在不同的反向偏置电压下暗电流在甚宽温度范围内的温度特性.结果表明:在反向偏置低压与高压段,产生-复合电流与隧道电流(缺陷隧道电流与带带间隧道电流)分别占主导地位,并呈现出相应的温度特性.还从理论与实验两方面探讨了噪声对探测器R0A的影响,结果表明:在低温段,产生-复合噪声起主要作用,在高温段,俄歇复合噪声起主要作用.
关键词:
光电探测器
,
暗电流
,
探测率
,
温度特性
